De Ultraviolet Wavefront-sensor, met een hoge faseresolutie van 2NM RMS en extreem sterke trillingsweerstand. Het heeft ook een resolutie van 512 x 512 pixels (262.144 fasepunten), waardoor interferentiemetingen kunnen worden uitgevoerd op het achterste brandpuntsvlak. De technologie vereist dat de lichtbron een lage coherentie heeft en elimineert de noodzaak van faseverschuiving. Met het ultraviolette beeldvormingssysteem is het apparaat in staat tot realtime golffrontmetingen.
|
productnaam |
Ultraviolette golffrontsensor |
|
Golflengtebereik |
200nm~450nm |
|
Doelgrootte |
13,3 mm × 13,3 mm |
|
Ruimtelijke resolutie |
26μm |
|
Bemonsteringsresolutie |
512×512(262144pixel) |
|
Fase resolutie |
<2 nmRMS |
|
Absolute nauwkeurigheid |
10nm RMS |
|
Dynamisch bereik |
90 μm (256 min) |
|
Bemonsteringssnelheid |
32 fps |
|
Realtime verwerkingssnelheid |
10 Hz (Volledige resolutie) |
|
Interfacetype |
USB3.0 |
|
Dimensie |
70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm |
|
Gewicht |
ongeveer 240 g |
◆UV-spectrum 200nm~450nm-band
◆Ultrahoge resolutie van 512×512 (262144) fasepunten
◆Single-channel licht-zelfinterferentie, geen referentielicht vereist
◆2nm RMS hoge faseresolutie
◆Net als bij beeldverwerking: eenvoudige en snelle optische padconstructie
◆Ondersteunt gecollimeerde balken en niet-gecollimeerde balken met een hoge NA
◆Extreem sterke anti-vibratieprestaties, geen noodzaak voor optische trillingsisolatie
Deze BOJIONG ultraviolette golffrontsensor wordt gebruikt voor het meten van optische systeemafwijkingen, optische systeemkalibratie, vlakke (wafer) oppervlaktevormmeting, optische sferische oppervlaktevormmeting, enz.
|
Golffrontdetectie met laserstraal |
Golffrontdetectiereactie van adaptieve optica Zernike-modus |
|
Voorbeeld van aberratiemeting van een optisch systeem
|
Voorbeelden van metingen van optische systeemkalibratie
|
|
Voorbeeld van het meten van de oppervlakteruwheid van een wafel
|
Morfologiemeting met micro-ets - defectmonster 1 # -114 lijnen |
BOJIONG Ultraviolette golffrontsensor, ontwikkeld door een team van professoren van de Zhejiang Universiteit en de Nanyang Technologische Universiteit van Singapore, met binnenlandse gepatenteerde technologie, combineert diffractie en interferentie om een gemeenschappelijke transversale schuifinterferentie van vier golven te bereiken, met superieure detectiegevoeligheid en anti-vibratieprestaties , en kan dynamische interferometrie in real time en hoge snelheid realiseren zonder trillingsisolatie. Uit de real-time meting blijkt een framerate van ruim 10 frames. Tegelijkertijd heeft de FIS4-sensor een ultrahoge faseresolutie van 512×512 (260.000 fasepunten), de meetband beslaat 200 nm ~ 15 μm, de meetgevoeligheid bereikt 2 nm en de herhaalbaarheid van de metingen is beter dan 1/1000λ ( RMS). Het kan worden gebruikt voor analyse van de laserstraalkwaliteit, plasmastroomvelddetectie, real-time meting van snelle stroomveldverdeling, beeldkwaliteitevaluatie van optisch systeem, microscopische profielmeting en kwantitatieve fasebeeldvorming van biologische cellen.
|
FIS4 Technische parameters van elke serie producten |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Product |
FIS4-UV |
FIS4-HR |
FIS4 KLOK |
FIS4-HS |
FIS4-cel |
FIS4-NIR |
|
Golflengtebereik |
200 ~ 450 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
900 ~ 1200 nm |
|
Doelgrootte mm2 |
13,3×13,3 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
10,24×10,24 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
|
Ruimtelijke resolutie |
26μm |
23,6 μm |
26μm |
24,4 μm |
23,6 μm |
26μm |
|
Afbeeldingspixel |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
- |
|
Fase-uitgangsresolutie |
512×512 (262144pixel) |
300×300 (90000 pixels) |
512×512(262144pixel) |
420×420 (176400 pixels) |
300×300 (90000 pixels) |
512×512(262144pixel) |
|
Fase resolutie |
<2 nmRMS |
<2 nmRMS |
<2 nmRMS |
<2 nmRMS |
<2 nmRMS |
<2 nmRMS |
|
Absolute nauwkeurigheid |
10nm RMS |
10nm RMS |
15nm RMS |
10nm RMS |
10nm RMS |
15nm RMS |
|
Dynamisch bereik |
90μm (256min) |
110μm (150min) |
162μm (256min) |
132μm (210min) |
110μm (150min) |
270μm (256min) |
|
Bemonsteringssnelheid |
32 fps |
24 fps |
45 fps |
107 fps |
24 fps |
45 fps |
|
Realtime verwerkingssnelheid |
10 Hz (Volledige resolutie) |
10 Hz (Volledige resolutie) |
10 Hz (Volledige resolutie) |
10 Hz (Volledige resolutie)Ondersteunt vertraagde batchverwerking |
10 Hz (Volledige resolutie) |
10 Hz (Volledige resolutie) |
|
Interfacetype |
USB3.0 |
KARBONADE |
USB3.0 |
KARBONADE |
KARBONADE |
USB3.0 |
|
Externe interface |
- |
- |
- |
- |
C-poort |
- |
|
Grootte mm2 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
|
gewicht |
ongeveer 240 g |
ongeveer 120 g |
ongeveer 240 g |
ongeveer 120 g |
ongeveer 120 g |
ongeveer 240 g |
Adres
Nr. 578 Yingkou Road, Yangpu District, Shanghai, China
Tel
E-mailen
