De BOJIONG UV-golffrontsensor 200-450 nm integreert gepatenteerde viergolfdiffractietechnologie met willekeurige codering met een ultravioletcamera om interferentie uit te voeren op het achterste beeldvlak, waardoor een lage coherentie van de lichtbron nodig is en de noodzaak voor faseverschuiving wordt geëlimineerd. Door gebruik te maken van het ultraviolette beeldvormingssysteem maakt deze sensor real-time golffrontmetingen mogelijk met uitzonderlijke trillingsweerstand en stabiliteit, waardoor precisie op nanometerniveau wordt bereikt zonder de noodzaak van trillingsisolatie.
|
Productnaam |
UV-golffrontsensor 200-450 nm |
|
Golflengtebereik |
200nm~450nm |
|
Doelgrootte |
13,3 mm × 13,3 mm |
|
Ruimtelijke resolutie |
26μm |
|
Bemonsteringsresolutie |
512×512(262144pixel) |
|
Fase resolutie |
<2 nmRMS |
|
Absolute nauwkeurigheid |
10nm RMS |
|
Dynamisch bereik |
90 μm (256 min) |
|
Bemonsteringssnelheid |
32 fps |
|
Realtime verwerkingssnelheid |
10 Hz (Volledige resolutie) |
|
Interfacetype |
USB3.0 |
|
Dimensie |
70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm |
|
Gewicht |
ongeveer 240 g |
◆UV-spectrum 200nm~450nm-band
◆Ultrahoge resolutie van 512×512 (262144) fasepunten
◆Single-channel licht-zelfinterferentie, geen referentielicht vereist
◆2nm RMS hoge faseresolutie
◆Extreem sterke anti-vibratieprestaties, geen noodzaak voor optische trillingsisolatie
◆Net als bij beeldverwerking: eenvoudige en snelle optische padconstructie
◆Ondersteunt gecollimeerde balken en niet-gecollimeerde balken met een hoge NA
Deze BOJIONG ultraviolette viergolfinterferometrische sensor wordt gebruikt voor het meten van optische systeemaberratie, optische systeemkalibratie, vlakke (wafer) oppervlaktevormmeting, optische sferische oppervlaktevormmeting, enz.
|
Golffrontdetectie met laserstraal |
Golffrontdetectiereactie van adaptieve optica Zernike-modus |
|
Voorbeeld van aberratiemeting van een optisch systeem |
Voorbeelden van metingen van optische systeemkalibratie |
|
Voorbeeld van het meten van de oppervlakteruwheid van een wafel |
Morfologiemeting met micro-ets - defectmonster 1 # -114 lijnen |
De BOJIONG UV-golffrontsensor 200-450 nm, ontwikkeld door een team van professoren van de Zhejiang Universiteit en de Nanyang Technologische Universiteit in Singapore, maakt gebruik van binnenlandse gepatenteerde technologie die diffractie en interferentie combineert om transversale schuifinterferentie met vier golven te bereiken. Deze sensor beschikt over een uitstekende detectiegevoeligheid en anti-vibratieprestaties, waardoor realtime en snelle dynamische interferometrie mogelijk is zonder de noodzaak van trillingsisolatie, met een framesnelheid van meer dan 10 frames per seconde. De FIS4-sensor biedt een ultrahoge faseresolutie van 512×512 (260.000 fasepunten), met een meetbereik van 200 nm tot 15 μm, een meetgevoeligheid van 2 nm en een meetherhaalbaarheid beter dan 1/1000λ (RMS). Het is toepasbaar voor analyse van de kwaliteit van laserstralen, plasmastroomvelddetectie, real-time meting van snelle stroomveldverdeling, beeldkwaliteitsevaluatie van optische systemen, microscopische profielmeting en kwantitatieve fasebeeldvorming van biologische cellen.
Adres
Nr. 578 Yingkou Road, Yangpu District, Shanghai, China
Tel
E-mailen
