Ultraviolette interferometrische sensor met vier golven

De ultraviolette viergolfinterferometrische sensor bevat onze eigen technologie van gerandomiseerde codering van viergolfdiffractie, waardoor interferentie in het achterste brandpuntsvlak mogelijk is met minimale vereisten voor de coherentie van de lichtbron, waardoor de noodzaak voor faseverschuiving wordt geëlimineerd. Via het ultraviolette beeldvormingssysteem is de sensor in staat tot real-time golffrontmetingen, vertoont hij uitstekende trillingsweerstand en stabiliteit, en kan hij precisiemetingen op nanometerniveau bereiken, zelfs zonder het gebruik van trillingsisolatie. BOJIONG Optoelectronics staat klaar om de normen voor optische prestatiemeting en -analyse te herdefiniëren, waardoor de industrie een nieuw tijdperk van precisie en efficiëntie binnengaat.

Artikelspecificatie

Kenmerk van BOJIONG Ultraviolette viergolfinterferometrische sensor

◆UV-spectrum 200nm~450nm-band

◆Ultrahoge resolutie van 512×512 (262144) fasepunten

◆Single-channel licht-zelfinterferentie, geen referentielicht vereist

◆2nm RMS hoge faseresolutie

◆Extreem sterke anti-vibratieprestaties, geen noodzaak voor optische trillingsisolatie

◆Net als bij beeldverwerking: eenvoudige en snelle optische padconstructie

◆Ondersteunt gecollimeerde balken en niet-gecollimeerde balken met een hoge NA

Toepassing van BOJIONG ultraviolette viergolfinterferometrische sensor

Deze BOJIONG ultraviolette viergolfinterferometrische sensor wordt gebruikt voor het meten van optische systeemaberratie, optische systeemkalibratie, vlakke (wafer) oppervlaktevormmeting, optische sferische oppervlaktevormmeting, enz.

BOJIONG Ultraviolette interferometrische sensor met vier golven Details

BOJIONG Ultraviolette viergolfinterferometrische sensor, ontwikkeld door een team van professoren van de Zhejiang Universiteit en de Nanyang Technologische Universiteit van Singapore, met binnenlandse gepatenteerde technologie, combineert diffractie en interferentie om een ​​gemeenschappelijke transversale schuifinterferentie met vier golven te bereiken, met superieure detectiegevoeligheid en anti-transversale interferentie. -trillingsprestaties, en kan real-time en snelle dynamische interferometrie realiseren zonder trillingsisolatie. Uit de real-time meting blijkt een framerate van ruim 10 frames. Tegelijkertijd heeft de FIS4-sensor een ultrahoge faseresolutie van 512×512 (260.000 fasepunten), de meetband beslaat 200 nm ~ 15 μm, de meetgevoeligheid bereikt 2 nm en de herhaalbaarheid van de metingen is beter dan 1/1000λ ( RMS). Het kan worden gebruikt voor analyse van de laserstraalkwaliteit, plasmastroomvelddetectie, real-time meting van snelle stroomveldverdeling, beeldkwaliteitevaluatie van optisch systeem, microscopische profielmeting en kwantitatieve fasebeeldvorming van biologische cellen.