Ultrahoge resolutie van 512 x 512 (262144) fasepunten, waardoor uiterst nauwkeurige golffrontmetingen in de band van 900 nm tot 1200 nm worden bereikt, die kunnen worden gebruikt voor het meten van optische systeemaberraties, optische systeemkalibratie, meting van de interne roosterdistributie van materiaal, metasurface, superlensgolffront metingenz.
De FIS4-NIR nabij-infrarode viergolfinterferometersensor combineert de gepatenteerde willekeurig gecodeerde viergolfdiffractietechnologie met een infraroodcamera en interfereert met de positie van het achterste beeldvlak. Het stelt lage eisen aan de coherentie van de lichtbron en vereist geen faseverschuiving. Gewone beeldvormingssystemen kunnen interferometrische metingen uitvoeren. Het heeft een ultrahoge trillingsweerstand en ultrahoge stabiliteit en kan precisiemetingen op nm-niveau bereiken zonder trillingsisolatie.
Belangrijkste kenmerken
◆ Ultrahoge resolutie van 512×512 (262144) fasepunten
◆ Zelfinterferentie van enkelpadlicht, geen referentielicht nodig
◆ Breed spectrum 900nm~1200nm-band
◆ 2 nm RMS hoge faseresolutie
◆ Groot dynamisch bereik tot 270μm
◆ Extreem sterke trillingsbestendigheid, geen optische trillingsisolatie nodig
◆ Eenvoudige en snelle constructie van optische paden, zoals bij beeldvorming
◆ Ondersteun gecollimeerde balken en grote NA-convergerende balken
Producttoepassingen
Meting van optische systeemafwijkingen, kalibratie van optisch systeem, meting van interne roosterdistributie van materiaal, metasurface, superlens-golffrontmeting.
