Verticale viergolfs dynamische interferometer

De Vertical Four-wave Dynamic Interferometer LPI-100, geschikt voor real-time dynamische metingen met een snelheid van maximaal 15 frames per seconde, verkrijgt nauwkeurig de oppervlaktevorminformatie van vlakke optische elementen binnen een opening van 100 mm via vier-golf common path shearing technologie en demodulatie van interferentiepatronen. De interferometer is gebruiksvriendelijk, snel in gebruik, betrouwbaar in gebruik en zeer nauwkeurig in meten. Het biedt betrouwbare gegevensondersteuning voor optische verwerkingsbedrijven, academische instellingen, metrologieafdelingen, onderzoekers in wetenschappelijke organisaties en professionals die wetenschappelijke artikelen schrijven, waardoor het een hulpmiddel van onschatbare waarde is in hun werk.

Artikelspecificatie

Kenmerk van BOJIONG verticale viergolfs dynamische interferometer

◆Tot 15 frames voor realtime dynamische metingen

◆2 nm RMS Hoge faseresolutie

◆Superhoge resolutie van 262144 fasepunten

◆ Gebaseerd op het principe van zelfinterferentie via gemeenschappelijke kanalen, heeft de apparatuur geen referentiespiegel nodig en heeft deze een sterke weerstand. Interferentievermogen kan in de gewone fabrieksomgeving ook een nauwkeurige detectie van een vlak oppervlak bereiken

◆Kan dynamische detectie in realtime realiseren, kan dynamische detectie van 15 frames / seconde bereiken

◆ Met onafhankelijke intellectuele-eigendomsrechten, kosteneffectieve, eenvoudige aanpassing, compacte structuur

 Toepassing van BOJIONG verticale viergolfs dynamische interferometer

Deze BOJIONG Verticale Vier-golf Dynamische Interferometer, uitgerust met FIS4 vier-golf interferometrische sensoren, is in staat om nauwkeurig de vorm van standaard vlakke spiegels te detecteren. Het bijbehorende softwareverwerkingssysteem voert de PV-, RMS- en POWER-waarden uit van het oppervlak van het geteste onderdeel.

BOJIONG Verticale viergolfs dynamische interferometerdetails

BOJIONG Planar Four-wave Dynamic Interferometer algemeen lay-outdiagram

De BOJIONG Vertical Four-wave Dynamic Interferometer bestaat uit verschillende belangrijke functionele modules, waaronder een verlichtingslichtbronmodule, een secundaire bundeluitbreidingsmodule, een dragermodule, een spotfocusmodule voor monsteruitlijning en een interferometrische sensormodule voor het detecteren van het oppervlak vorm van monsters.

De lichtbronmodule van het systeem maakt gebruik van een helium-neongaslaser met een centrale golflengte van 632,8 nm, die een nauwkeurige en stabiele lichtbron voor de interferometer oplevert.

De secundaire straaluitbreidingsmodule is ontworpen om de straaldiameter te vergroten tot 100 mm, waardoor compatibiliteit wordt gegarandeerd met optische componenten met een grote diameter die inspectie vereisen.

Het podiumgedeelte dient als platform voor het testen van verschillende vlakke optische componenten, zoals platte kristallen, single-throw wafers, vensterchips en vlakke reflectoren. Het podium is uitgerust met handwielen op de X- en Y-as voor nauwkeurige controle van de positie van het monster, zodat de lichtvlek die door de apparatuur wordt uitgezonden het oppervlak van het testmonster volledig bedekt. Bovendien zijn er twee instelknoppen in het podium geïntegreerd om de kanteling van het monster nauwkeurig af te stemmen, waardoor het testvlak loodrecht op de optische as wordt uitgelijnd.

Het beeldvormingssysteem beschikt over een opstelling met twee camera's. Eén camera is een optische beeldcamera die de spotfocusmodule vormt en helpt bij de uitlijning van het monster. Door de real-time positie van de terugkeerplek van het monster te observeren, kan het monster worden aangepast om de nauwkeurigheid van de meting te garanderen. Het andere camerapad is uitgerust met de FIS4-interferometrische sensor met vier golven, die de interferometrische sensormodule vormt voor het detecteren van de oppervlaktevorm van het monster. Door interferometrische randen met gemeenschappelijk pad vast te leggen, biedt het realtime, driedimensionale feedback over de oppervlaktetopografie van het testmonster. Het dubbele camerasysteem kan gelijktijdig werken, waardoor de efficiëntie en nauwkeurigheid van het meetproces wordt verbeterd.

Professionele softwaremodule

◆Het apparaat is uitgerust met gespecialiseerde software die is ontworpen voor de 'Vertical Four-wave Dynamic Interferometer', die realtime 3D-beelden van het gemeten oppervlak van het optische element kan weergeven en uitvoeren, en PV-, RMS- en POWER-waarden kan leveren voor de gemeten oppervlak.

◆Bovendien heeft de software de mogelijkheid om ruwe meetgegevens te exporteren, waardoor cruciale kwantitatieve analyseondersteuning wordt geboden voor een verscheidenheid aan onderzoeksinspanningen, en gebruikers in staat worden gesteld om daaropvolgende gegevensanalyses en onderzoekswerkzaamheden gemakkelijk uit te voeren.