Deze ultraviolette golffrontanalysator, met een resolutie van 512 x 512 pixels (262.144 fasepunten), is in staat interferentiemetingen uit te voeren in het achterste brandpuntsvlak. De technologie vereist een laag coherentieniveau van de lichtbron en elimineert de noodzaak van faseverschuiving. Met het ultraviolette beeldvormingssysteem kan het apparaat real-time golffrontmetingen uitvoeren. Het beschikt over uitzonderlijke trillingsweerstand en stabiliteit, waardoor meetnauwkeurigheid op nanometerniveau mogelijk is zonder dat er voorzieningen voor trillingsisolatie nodig zijn.
Productnaam |
Ultraviolette golffrontanalysator |
Golflengtebereik |
200nm~450nm |
Doelgrootte |
13,3 mm × 13,3 mm |
Ruimtelijke resolutie |
26μm |
Bemonsteringsresolutie |
512×512(262144pixel) |
Fase resolutie |
<2 nmRMS |
Absolute nauwkeurigheid |
10nm RMS |
Dynamisch bereik |
90 μm (256 min) |
Bemonsteringssnelheid |
32 fps |
Realtime verwerkingssnelheid |
10 Hz (Volledige resolutie) |
Interfacetype |
USB3.0 |
Dimensie |
70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm |
Gewicht |
ongeveer 240 g |
◆2nm RMS hoge faseresolutie
◆UV-spectrum 200nm~450nm-band
◆Ultrahoge resolutie van 512×512 (262144) fasepunten
◆Single-channel licht-zelfinterferentie, geen referentielicht vereist
◆Extreem sterke anti-vibratieprestaties, geen noodzaak voor optische trillingsisolatie
◆Net als bij beeldverwerking: eenvoudige en snelle optische padconstructie
◆Ondersteunt gecollimeerde balken en niet-gecollimeerde balken met een hoge NA
Deze BOJIONG Ultraviolet Wavefront-analysator wordt gebruikt voor het meten van optische systeemafwijkingen, optische systeemkalibratie, vlakke (wafer) oppervlaktevormmeting, optische sferische oppervlaktevormmeting, enz.
Golffrontdetectie met laserstraal |
Golffrontdetectiereactie van adaptieve optica Zernike-modus |
Voorbeeld van aberratiemeting van een optisch systeem |
Voorbeelden van metingen van optische systeemkalibratie |
Voorbeeld van het meten van de oppervlakteruwheid van een wafel |
Morfologiemeting met micro-ets - defectmonster 1 # -114 lijnen |
BOJIONG Ultraviolet Wavefront Analyzer, ontwikkeld door een team van professoren van de Zhejiang University en de Nanyang Technological University of Singapore, met binnenlandse gepatenteerde technologie, combineert het diffractie en interferentie om een gemeenschappelijke transversale schuifinterferentie van vier golven te bereiken, met superieure detectiegevoeligheid en anti-vibratieprestaties , en kan dynamische interferometrie in real time en hoge snelheid realiseren zonder trillingsisolatie. Uit de real-time meting blijkt een framerate van ruim 10 frames. Tegelijkertijd heeft de FIS4-sensor een ultrahoge faseresolutie van 512×512 (260.000 fasepunten), de meetband beslaat 200 nm ~ 15 μm, de meetgevoeligheid bereikt 2 nm en de herhaalbaarheid van de metingen is beter dan 1/1000λ ( RMS). Het kan worden gebruikt voor analyse van de laserstraalkwaliteit, plasmastroomvelddetectie, real-time meting van snelle stroomveldverdeling, beeldkwaliteitevaluatie van optisch systeem, microscopische profielmeting en kwantitatieve fasebeeldvorming van biologische cellen.
FIS4 Technische parameters van elke serie producten |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
Product |
FIS4-UV |
FIS4-HR |
FIS4 KLOK |
FIS4-HS |
FIS4-cel |
FIS4-NIR |
Golflengtebereik |
200 ~ 450 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
900 ~ 1200 nm |
Doelgrootte mm² |
13,3×13,3 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
10,24×10,24 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
Ruimtelijke resolutie |
26μm |
23,6 μm |
26μm |
24,4 μm |
23,6 μm |
26μm |
Afbeeldingspixel |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
- |
Fase-uitgangsresolutie |
512×512 (262144pixel) |
300×300 (90.000 pixels) |
512×512(262144pixel) |
420×420(176400pixel) |
300×300 (90.000 pixels) |
512×512(262144pixel) |
Fase resolutie |
<2 nmRMS |
<2 nmRMS |
<2 nmRMS |
<2 nmRMS |
<2 nmRMS |
<2 nmRMS |
Absolute nauwkeurigheid |
10nm RMS |
10nm RMS |
15nm RMS |
10nm RMS |
10nm RMS |
15nm RMS |
Dynamisch bereik |
90μm (256min) |
110μm (150min) |
162μm (256min) |
132μm (210min) |
110μm (150min) |
270μm (256min) |
Bemonsteringssnelheid |
32 fps |
24 fps |
45 fps |
107 fps |
24 fps |
45 fps |
Realtime verwerkingssnelheid |
10 Hz (Volledige resolutie) |
10 Hz (Volledige resolutie) |
10 Hz (Volledige resolutie) |
10 Hz (Volledige resolutie)Ondersteunt vertraagde batchverwerking |
10 Hz (Volledige resolutie) |
10 Hz (Volledige resolutie) |
Interfacetype |
USB3.0 |
KARBONADE |
USB3.0 |
KARBONADE |
KARBONADE |
USB3.0 |
Externe interface |
- |
- |
- |
- |
C-poort |
- |
Afmeting mm² |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
gewicht |
ongeveer 240 g |
ongeveer 120 g |
ongeveer 240 g |
ongeveer 120 g |
ongeveer 120 g |
ongeveer 240 g |
Adres
Nr. 578 Yingkou Road, Yangpu District, Shanghai, China
Tel
E-mailen