Laser vlakke interferometer

De Laser Planar Interferometer (LPI-100), met zijn real-time dynamische meetsnelheid tot 15 frames per seconde, is in staat tot real-time detectie van de oppervlaktevorm van vlakke optische elementen binnen een opening van 100 mm. De straal die de oppervlaktevorminformatie van het gemeten element draagt, wordt door een speciaal gecodeerd rooster gebogen, dat het golffront zijdelings in vier delen verdeelt, waardoor een tweedimensionaal interferentiepatroon met een gemeenschappelijk pad wordt gevormd met vier golffronten. Door de tweedimensionale interferentie te demoduleren, kan informatie over de oppervlaktevorm van het element worden verkregen.

Artikelspecificatie:

Kenmerk van BOJIONG Laser Planar Interferometer

◆Tot 15 frames voor realtime dynamische metingen

◆2 nm RMS Hoge faseresolutie

◆Superhoge resolutie van 262144 fasepunten

◆Kan dynamische detectie in realtime realiseren, kan dynamische detectie van 15 frames / seconde bereiken

◆ Met onafhankelijke intellectuele-eigendomsrechten, kosteneffectieve, eenvoudige aanpassing, compacte structuur

◆ Gebaseerd op het principe van zelfinterferentie via gemeenschappelijke kanalen, heeft de apparatuur geen referentiespiegel nodig en heeft deze een sterke weerstand. Interferentievermogen kan in de gewone fabrieksomgeving ook een nauwkeurige detectie van een vlak oppervlak bereiken

Toepassing van BOJIONG laservlakinterferometer

Deze BOJIONGLaser Planar Interferometer is uitgerust met FIS4-interferometrische sensoren met vier golven om de standaard vlakke spiegelvorm te detecteren, en de verwerkingssoftware voert de PV-waarde, RMS-waarde en POWER-waarde van het oppervlak van het geteste onderdeel uit.

BOJIONG Laser Planar Interferometer-details

BOJIONG Planar Four-wave Dynamic Interferometer algemeen lay-outdiagram

De functionele modules van de BOJIONG Laser Planar Interferometer kunnen worden onderverdeeld in een verlichtingslichtbronmodule, een secundaire bundeluitbreidingsmodule, een dragermodule, een spotfocusmodule voor hulp bij het aanpassen van de monsterhouding, en een interferometrische sensormodule voor detectie van de vorm van het monsteroppervlak. .

De lichtbronmodule van het systeem maakt gebruik van een gas-helium-neonlaser met een centrale golflengte van 632,8 nm.

De secundaire straaluitbreidingsmodule breidt de straalgrootte uit tot 100 mm en voldoet daarmee aan de vereisten voor detectie met grote diameter.

Het podiumgedeelte wordt gebruikt om vlakke optische componenten te plaatsen die moeten worden getest, zoals platte kristallen, single-throw-wafels, vensterchips, vlakke reflectoren, enz. Het laadplatform is uitgerust met in X- en Y-richting bewegende handwielen om de beweging van het monster te regelen fase, zodat de uitgestraalde lichtvlek van de apparatuur het oppervlak van het testmonster volledig bedekt. Tegelijkertijd zijn er ook twee knoppen op het podium geïnstalleerd om de kantelhouding van het monster aan te passen. Door deze knoppen aan te passen, wordt het testvlak loodrecht op de optische as gemaakt.

Het beeldvormingssysteem beschikt over een dubbel camerasysteem. Eén ervan maakt gebruik van een optische beeldcamera om een ​​spotfocusmodule te vormen die helpt bij het aanpassen van de monsterhouding. Door de retourpuntpositie van het monster in realtime te observeren, wordt de monsterhouding aangepast om de meetnauwkeurigheid te garanderen. Het andere pad is uitgerust met een FIS4-interferometrische sensor met vier golven, die een interferometrische sensormodule vormt voor detectie van de vorm van het monsteroppervlak. Door interferometrische randen met gemeenschappelijk pad vast te leggen, kan real-time feedback van driedimensionale informatie op het oppervlak van het testmonster worden bereikt. Het dubbele camerasysteem kan tegelijkertijd werken.

Professionele softwaremodule

◆Uitgerust met de "Laser Planar Interferometer"-software, kan het real-time 3D-beelden van het gemeten optische elementvlak weergeven en uitvoeren, PV-waarden, RMS-waarden en POWER-waarden van het gemeten oppervlak uitvoeren.

◆Tegelijkertijd ondersteunt de software het exporteren van ruwe gegevens van meetresultaten, het bieden van kwantitatieve detectiegegevensondersteuning voor verschillende onderzoeken en het faciliteren van gebruikers om in de toekomst data-analyse en onderzoek uit te voeren.