De kern van de FIS4 UV-golffrontsensor ligt Bojiong's baanbrekende gerandomiseerde codeer met vier golf diffractie-technologie. Deze baanbrekende technologie maakt interferentie op het achterste brandvlak mogelijk, zelfs met minimale coherentie van de lichtbron, waardoor de beperkingen op de coherentie van de lichtbron aanzienlijk worden verminderd en effectief de vereiste voor faseverschuiving worden geëlimineerd. Geïntegreerd met een geavanceerd ultraviolet beeldvormingssysteem, biedt de FIS4 UV-golffrontsensor realtime golffrontmeetmogelijkheden, met uitzonderlijke trillingsweerstand en robuustheid. Indrukwekkend bereikt het nanometerschaal precisie, zelfs zonder trillingsisolatiesystemen. Deze mogelijkheid opent nieuwe mogelijkheden voor metingen met veel nauwkeurige en veeleisende omgevingen. Bojiong Optoelectronics is ingesteld om een revolutie teweeg te brengen in de optische prestatiemeting en analyse, waardoor de industrie naar een ongekend tijdperk van precisie en efficiëntie wordt begeleid. Door nieuwe benchmarks in te stellen voor nauwkeurigheid en operationeel gemak, stelt de FIS4 UV -golffrontsensor onderzoekers en industrieën in staat om de grenzen van optische innovatie te verleggen.
Lichtbrontype |
Continue laser, pulslaser, LED, halogeenlamp en andere breedbandlichtbronnen |
Golflengte bereik |
200 nm ~ 400 nm |
Doelgrootte |
13,3 mm × 13,3 mm |
Ruimtelijke resolutie |
26 m m |
Fase -uitgangsresolutie |
512 × 512 |
Absolute nauwkeurigheid |
10 nmrms |
Fasebeslechting |
≤ 2nmrms |
Dynamisch bereik |
≥90 u m |
Bemonsteringssnelheid |
32fps |
Real-time verwerkingssnelheid |
5Hz (bij volledige resolutie) |
Interfacetype |
USB3.0 |
Dimensie |
70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm |
Gewicht |
ongeveer 240 g |
Koelmethode |
geen |
◆ UV -spectrum 200nm ~ 400 nm band
◆ 2 nm rms hoge fase resolutie
◆ 100% in eigen land ontwikkeld
◆ Self-interferentie met één stuk licht, geen referentielicht vereist
◆ Extreem sterke trillingsweerstand, geen behoefte aan optische trillingsisolatie
◆ Met laserinterferentie -randonderdrukkingsontwerp
◆ Ondersteuning van gecollimeerde balken, hoge NA-niet-gecollimeerde balken
Deze Bojiong FIS4 UV -golffrontsensor gebruikt voor het aberratiemeting van het optische systeem, optische systeemkalibratie, platte (wafer) oppervlaktevormmeting, optische sferische oppervlaktevormmeting, etc.
Laserstraal golffront detectie |
Wavefront -detectierespons van adaptieve optiek Zernike -modus |
Voorbeeld van aberratiemeting van het optische systeem
|
Optische systeemkalibratiemeting voorbeelden
|
Voorbeeld van wafeloppervlak ruwheidsmeting
|
Micro -etsmorfologiemeting - Defect monster 1 # -114 lijnen |
De Bojiong FIS4 UV Wavefront -sensor is ontwikkeld door een team van professoren van Zhejiang University en Nanyang Technological University, Singapore. Het heeft een ultrahoge resolutie van 512 × 512 (262144) fasepunten en kan een zeer nauwkeurige golffrontmeting bereiken in de 200 nm tot 400 nm band. Het kan worden gebruikt voor het aberratiemeting van het optische systeem, kalibratie van optische systeem, vlakke (wafer) oppervlaktemeting, optische sferische oppervlaktemeting, enz.
FIS4 UV combineert de gepatenteerde willekeurige gecodeerde viergolfdiffractietechnologie met de UV-camera en interfereert op de achterste beeldvlakpositie. Het heeft een lage vereisten voor de coherentie van de lichtbron en vereist geen faseverschuiving. Het kan realtime golffrontmeting bereiken met het UV-beeldvormingssysteem. Het heeft ultrahoge trillingsweerstand en ultrahoge stabiliteit en kan een precisiemeting op NM-niveau bereiken zonder trillingsisolatie.
Adres
Nr. 578 Yingkou Road, Yangpu District, Shanghai, China
Tel /
E-mailen