De AOI150 optische component-oppervlaktedefectdetector heeft een detectieresolutie tot 0,5 micrometer en een maximale inspectieopening van 150 mm bij 150 mm. Het apparaat kan automatisch rapporten genereren, met rapportformaten zoals de Amerikaanse militaire standaard MIL-PRF-13830A/B en de internationale standaard ISO10110-7.
productnaam |
Zer AOI150 detector voor oppervlaktedefecten voor optische componenten |
Maximale detectiegrootte |
150 mm bij 150 mm |
Detectieresolutie |
0,5 μm |
Detectiemethode |
Donkerveldarray-scanning |
Uitvoerrapporten |
Nationale normen, Amerikaanse militaire normen en op maat gemaakte bedrijfsrapporten. |
De AOI150 optische component-oppervlaktedefectdetector maakt gebruik van machine vision-technologie om geautomatiseerde, snelle en uiterst nauwkeurige detectie van defecten op glas- en metalen oppervlakken te bereiken, waardoor de problemen van lage efficiëntie en slechte nauwkeurigheid bij visuele inspectie effectief worden opgelost. De hoogste detectieresolutie kan 0,5 μm bereiken en de maximale detectieopening kan zo groot zijn als 150 mm bij 150 mm. Bij de beeldvorming wordt gebruik gemaakt van ringvormige verlichting en donkerveldbeeldvorming met microverstrooiing. Het apparaat kan automatisch rapporten uitvoeren, met rapportformaten zoals de Amerikaanse militaire standaard MIL-PRF-13830A/B en de internationale standaard ISO 10110-7.
Geschikt voor kwaliteitscontrole van oppervlaktedefecten in optische componenten, optische vensterwafels, siliciumwafels, saffierwafels, enz.
Deze apparatuur kan de volgende soorten defecten verwerken:
Polijstfouten: krassen, putjes, chippen, luchtbellen, vuil, enz.
Coatingdefecten: delaminatie, beschadiging van de coating, enz.
◆ Ringvormige verlichting met meerdere stralen
◆ Beeldvorming met variabele vergroting met opties voor hoge en lage vergroting
◆ Detectienauwkeurigheid van 0,5 μm
◆ Detectie van meerdere wafers op hele platen
◆ Lineaire motor voor snelle beeldvorming
◆ Uitgerust met een FFU (Fan Filter Unit) om de interne reinheid te garanderen
Ringvormige beeldverlichting met meerdere bundels
Automatische zoommicroscoop van 1X tot 8X.
Verstelbare snelklemming voor de gehele plaat.
Zeer nauwkeurige 2D-lineaire motoren zorgen voor de nauwkeurigheid van snelle opnamen.
Militaire standaard spreadsheetuitvoer
Weergave van testresultaten
Kras op het oppervlak van de coating.
Krassen
Laserschadeplek 1
Laserschadeplek 2
Deeltjespunt op nanoschaal
Vezel
Component-vervloeiing
beschadiging van de membraanlaag
AOI150 Oppervlaktedefectdetector voor optische componenten |
|
Item |
Beschrijving |
Model |
AOI150 |
Apparatuur Functie |
Kwantitatieve defectdetectie voor vlakke optische componenten met ultraglad oppervlak en uitvoer van elektronische rapporten volgens de detectieresultaten zoals de Amerikaanse militaire standaard, de nationale standaard en de internationale standaard. |
Maximale detectiegrootte |
150 mm × 150 mm |
Detectieprecisie |
Lage vergroting 5μm, hoge vergroting 0,5μm |
Klemmethode |
Klemmen van hele platen of klemmen uit één stuk, ondersteunende vierkante en ronde klemming. |
Nivellerende methode |
Volledig plaatmateriaal ondersteunde automatische scherpstelling, elektrische waterpasstelling. |
Beeldvormingsmethode |
Ringvormige verlichting, microverstrooiing donkerveldbeeldvorming, in overeenstemming met de "Kwantitatieve detectiemethode voor oppervlaktedefecten van optische componenten - Microverstrooiing donkerveldbeeldvormingsmethode", beschreven in de nationale norm GB/T 41805-2022. |
Detectiemethode |
Scannaden met lage vergroting, positioneringskwantificering met hoge vergroting. |
Scanmechanisme |
2D-lineaire motor, slag 150 mm × 150 mm. |
Cameraparameters |
Grote doelcamera, 5 miljoen pixels. |
Rapportformaat |
Excel, Word-formaat, Amerikaanse militaire standaard, nationale standaard, internationale standaard of bedrijfsstatistisch rapport. |
Industriële pc-configuratie |
i7-processor, 32 GB geheugen, 1T harde schijf, 6 GB videogeheugen. |
Afmetingen van apparatuur |
900 mm × 800 mm × 2000 mm (L × B × H) |
Voedingsspanning |
220V ± 10% |
Adres
Nr. 578 Yingkou Road, Yangpu District, Shanghai, China
Tel
E-mailen