Voor grote testcomponenten zoals siliciumwafels en saffierwafels biedt de AOI1000 Optical Component Surface Defect Detector een detectieresolutie tot 0,5 micrometer en een maximale inspectieopening van 1000 mm bij 600 mm. Het apparaat kan automatisch rapporten genereren, met rapportformaten zoals de Amerikaanse militaire standaard MIL-PRF-13830A/B en de internationale standaard ISO 10110-7.
|
productnaam |
AOI1000 Oppervlaktedefectdetector voor optische componenten |
|
Maximale detectiegrootte |
1000 mm x 600 mm |
|
Detectieresolutie |
0,5 μm |
|
Detectiemethode |
Donkerveldarray-scanning |
|
Uitvoerrapporten |
Nationale normen, Amerikaanse militaire normen en op maat gemaakte bedrijfsrapporten. |
De AOI1000 optische component-oppervlaktedefectdetector maakt gebruik van machine vision-technologie om geautomatiseerde, snelle en uiterst nauwkeurige detectie van oppervlaktedefecten op componenten zoals siliciumwafels en saffierwafels te bereiken, waardoor de problemen van lage efficiëntie en slechte nauwkeurigheid bij visuele inspectie effectief worden aangepakt. . De hoogste detectieresolutie kan 0,5 micrometer bereiken en de maximale detectieopening kan zo groot zijn als 1000 mm bij 600 mm. De beeldtechnologie omvat ringvormige verlichting en donkerveldbeeldvorming met microverstrooiing. Het apparaat kan automatisch rapporten genereren in verschillende formaten, waaronder de Amerikaanse militaire standaard MIL-PRF-13830A/B en de internationale standaard ISO 10110-7.
Geschikt voor kwaliteitscontrole van oppervlaktedefecten in optische componenten, optische vensterwafels, siliciumwafels, saffierwafels, enz.
Coatingdefecten: delaminatie, beschadiging van de coating, enz.
Polijstfouten: krassen, putjes, chippen, luchtbellen, vuil, enz.
Deze apparatuur kan de volgende soorten defecten verwerken:
◆ Ringvormige verlichting met meerdere stralen
◆ Beeldvorming met variabele vergroting met opties voor hoge en lage vergroting
◆ Detectienauwkeurigheid van 0,5 μm
◆ Detectie van meerdere wafers op hele platen
◆ Lineaire motor voor snelle beeldvorming
◆ Uitgerust met een FFU (Fan Filter Unit) om de interne reinheid te garanderen
Ringvormige beeldverlichting met meerdere bundels
Automatische zoommicroscoop van 1X tot 8X.
Verstelbare snelklemming voor de gehele plaat.
Zeer nauwkeurige 2D-lineaire motoren zorgen voor de nauwkeurigheid van snelle opnamen.
Militaire standaard spreadsheetuitvoer
Weergave van testresultaten
Kras op het oppervlak van de coating.
Krassen
Laserschadeplek 1
Laserschadeplek 2
Deeltjespunt op nanoschaal
Vezel
Component-vervloeiing
beschadiging van de membraanlaag
|
AOI450 detector voor oppervlaktedefecten voor optische componentenAOI1000 detector voor oppervlaktedefecten voor optische componenten |
|
|
Item |
Beschrijving |
|
Model |
AOI1000 |
|
Apparatuur Functie |
Kwantitatieve defectdetectie voor vlakke optische componenten met ultraglad oppervlak en uitvoer van elektronische rapporten volgens de detectieresultaten zoals de Amerikaanse militaire standaard, de nationale standaard en de internationale standaard. |
|
Maximale detectiegrootte |
1000 mm x 600 mm |
|
Detectieprecisie |
Lage vergroting 5μm, hoge vergroting 0,5μm |
|
Klemmethode |
Klemmen van hele platen of klemmen uit één stuk, ondersteunende vierkante en ronde klemming. |
|
Nivellerende methode |
Volledig plaatmateriaal ondersteunde automatische scherpstelling, elektrische waterpasstelling. |
|
Beeldvormingsmethode |
Ringvormige verlichting, microverstrooiing donkerveldbeeldvorming, in overeenstemming met de "Kwantitatieve detectiemethode voor oppervlaktedefecten van optische componenten - Microverstrooiing donkerveldbeeldvormingsmethode", beschreven in de nationale norm GB/T 41805-2022. |
|
Detectiemethode |
Scannaden met lage vergroting, positioneringskwantificatie met hoge vergroting. |
|
Scanmechanisme |
2D-lineaire motor, slag 150 mm × 150 mm. |
|
Cameraparameters |
Grote doelcamera, 5 miljoen pixels. |
|
Rapportformaat |
Excel, Word-formaat, Amerikaanse militaire standaard, nationale standaard, internationale standaard of bedrijfsstatistisch rapport. |
|
Industriële pc-configuratie |
i7-processor, 32 GB geheugen, 1T harde schijf, 6 GB videogeheugen. |
|
Afmetingen van apparatuur |
900 mm × 800 mm × 2000 mm (L × B × H) |
|
Voedingsspanning |
220V ± 10% |
Adres
Nr. 578 Yingkou Road, Yangpu District, Shanghai, China
Tel
E-mailen
