FIS4-interferometersensor met vier golvenis ontwikkeld door een team van professoren van de Zhejiang Universiteit en de Nanyang Technologische Universiteit, Singapore. Het beschikt over binnenlandse patenttechnologie, combineert diffractie en interferentie, realiseert common-path vier-golf laterale afschuifinterferentie, heeft een superdetectiegevoeligheid en trillingsweerstand en kan real-time, snelle dynamische interferometermetingen uitvoeren zonder trillingsisolatie; de real-time meting framesnelheid bereikt meer dan 10 frames. Tegelijkertijd heeft de FIS4-sensor een ultrahoge faseresolutie van 512×512 (260.000 fasepunten), de meetband beslaat 200 nm ~ 15 μm, de meetgevoeligheid bereikt 2 nm en de herhaalbaarheid van de metingen is beter dan 1/1000λ ( RMS). Het kan worden gebruikt voor analyse van de laserstraalkwaliteit, plasmastroomvelddetectie, real-time meting van snelle stroomvelddistributie, evaluatie van de beeldkwaliteit van het optische systeem, microscopische contourmeting en kwantitatieve fasebeeldvorming van biologische cellen, enz.
FIS4 interferentiesensor enkelvoudigstraalinterferentie optisch pad
Het werkingsprincipe van de viergolfinterferentiesensor is dat het te detecteren golffront wordt afgebogen door een willekeurig gecodeerd hybride rooster, en vier afgebogen lichten worden gegenereerd in twee orthogonale richtingen. Deze vier afgebogen lichten interfereren met het afbeeldingsoppervlak, en er kunnen vier laterale afschuifinterferentieranden van het golffront worden verkregen.
Voordelen van de viergolf-interferentiesensor: interferentie met enkelvoudig optisch pad heeft een supersterke trillingsbestendigheid, er is geen referentielicht vereist, eenvoudige lay-out, er is geen speciaal interferentieapparaat vereist, snelle en eenvoudige aanpassing, real-time beeldvorming is mogelijk, geen faseverschuiving proces vereist is, en het is bijzonder geschikt voor uiterst nauwkeurige detectie in fabrieksomgevingen.
